[53호]SEMICON KOREA 2018

SEMICON KOREA 2018

최대 규모의 반도체 산업 대표 전시회인 세미콘 코리아 2019가 1월 23일부터 25일까지 서울 코엑스에서 개최되었다. 한국은 2018년도에 2년 연속 전 세계 최대의 반도체 장비 시장 규모를 유지하고 있으며 대한민국 최대의 반도체 산업전으로 관련업계의 최신 기술을 공유하고 각종 비즈니스 기회를 창출하였다. 인공지능과 스마트팩토리, 5G의 발달로 데이터양이 급격하게 증가하면서 반도체의 중요성은 날로 커지고 있어 이러한 이슈에 초점을 맞춰 ‘CONNECT, COLLABORATE, INNOVATE’ 라는 주제를 중심으로 진행이 되었다. 지난해 방문객은 4만 8천여 명으로 집계되었고 총 469개의 업체가 참가하였으며 역대 최대 규모의 최다 참관객이 방문한 것으로 전해진다.

일본 기업 ULVAC은 메모리 반도체와 TFT-LCD 진공 기술 분야 전문 기업으로 둘러보고 있는 참관객들로 붐볐다. 이 업체는 진공솔루션뿐만 아니라 진공펌프, LCD 반도체, OLED PDP 장비 등 다양한 반도체 제조용 기기들을 제조 및 공급한다. 이번 전시회에서는 GHD 시리즈를 선보였는데 이 장비는 헬륨 누출 탐지기, 분석 장비, 실험실의 실험 장비로 널리 사용이 된다.
DAP 시리즈는 가장 작은 펌프 시리즈로, 섬세한 작업이 필요한 곳에 사용하기에 좋다. 고무 다이어프램을 사용해 깔끔하고 오일이 없는 진공 환경을 만들어준다. DAP 시리즈는 진공 핀셋, 의료 장비, 인쇄 장비, 살균기 등 여러 분야에 사용이 가능하다.

누설감지기 HELIOT 900 시리즈는 헬륨 IN ULTRA 유량 모드에서 5L /s 펌핑 속도로 고속 펌핑 기능을 갖춰 시장에서 최고 속도를 자랑한다. 특히 누설 테스트가 차동 펌핑 시스템으로 수행될 때 감도가 향상된다. 사용하기 쉽도록 무선 태블릿 컨트롤러가 있으며 휴대용으로 제작되어 진공 및 스니퍼 모드에서 독립형 장치로도 사용할 수 있으며 PLC 시스템에 연결되어 통합 누설 테스트 시스템으로도 사용 가능하다. 내부 구성 또한 손쉬운 유지 보수이 가능하게 설계되어, 이온 소스, 공기 필터, 펌프 오일 등을 쉽게 교체할 수 있으며 따로 도구를 사용하지 않고도 쉽게 제거가 가능하다. 자동차 산업, 에어컨, 반도체, 식품 산업, 의료기기 등 다양한 산업에서 활용이 가능하다.

반도체 테스트 솔루션을 다양하게 선보인 NATIONAL INSTRUMENTS 사의 5G 테스트 솔루션은 R&D급 측정 성능, OTA 측정이 가능하며 3GPP 5G NR 웨이브 폼 및 대역폭을 지원하고 최대 16개의 mmWave 포트를 지원한다. 빠른 테스트가 가능해 개발과 양산까지 모두 적용이 가능한 플랫폼이다.

PMIC 테스트 솔루션은 모바일, 웨어러블, 사물인터넷(IoT)의 저전력 디바이스를 위한 PMIC 특성화 테스트를 할 수 있는 솔루션으로 R&D 부터 양산까지 모두 적용이 가능한 최초의 PXI 기반 벡터 솔루션이다. 많은 기업들이 PMIC 테스트 시스템의 비용과 크기를 효율적으로 줄이기 위해 노력하는 상황에서 이 솔루션은 전체 비용을 크게 절감할 수 있어 특히 효과적이다.

TORAY는 산소 농도계 MS-500을 선보여 눈길을 끌었다. ppm 레벨의 저농도에서 산소 농도까지 1대로 측정이 가능해 복수 포인트의 산소 농도 관리에 최적화된 제품이다. TORAY 만의 초소형 지르코니아 센서가 탑재되어 있어 장기간 안정적으로 고정도 측정을 실현하였다. 특수 코팅 처리된 내구성이 높은 센서가 탑재되어 있으며, 센서 직접 삽입 방식으로 진공에서도 사용이 가능하다. 또한, 소형 사이즈로 합리적인 가격대를 자랑해 반도체 제조 장비부터 진공 용도까지 비용 절감에 효율적이다.

(주)한국휴글전자는 반도체 생산 환경에 맞는 반도체 제조 장치를 전문적으로 개발하고 ISO9001과 9002인증을 취득한 기업으로 초음파 드라이 클리너, 이오나이저, 반도체 조립장치, UV 필름 등 다양한 제품들을 선보였다. 이 제품은 표면층에 부착된 미립자를 초음파 진동 공기로 들뜨게 만들어 슬릿에서 빨아들이는 방식의 비 접촉 방식 클리너로, 제품의 눈에 보이지 않는 아주 작은 미세한 물질을 없애고 싶을 때 사용하기에 더욱 좋다.

올림푸스한국(주)에서는 최신 산업 현미경과 산업 내시경을 선보였다. 올림푸스의 산업 현미경은 반도체 및 전자기판 등 다양한 산업 제품들의 검사 및 측정 장비로 활용되고 있다. 뛰어난 사양을 자랑하는 레이저 현미경 OLS 5000은 레이저 스캔 방식을 적용해 샘플의 복잡한 표면에 접촉하지 않고도 측정이 가능한 제품으로 세계 최고의 분해능과 편리한 사용자 인터페이스를 제공해 반복 정밀도를 자랑한다. 비접촉 방식으로 샘플에 손상을 입히지 않으며, 접촉식 프로브 팁보다 더욱더 정밀한 측정이 가능하다. 현미경의 스캔 알고리즘은 향상된 데이터 품질과 속도를 제공하고, 스캔 시간을 획기적으로 줄여 사용자의 생산성을 크게 높인다. 3D 영상을 구현하는 것이 특장점인데 405nm의 레이저 광원은 높은 분해능을 자랑하며, 이렇게 획득한 이미지를 다양한 툴로 측정이 가능하다. 다중영역 병합 기능을 사용해 넓은 영역에 대한 3D 합성도 가능하다.

HORIBA는 레이저 입자 크기 분석기 LA-960을 선보였다. 이 제품은 업계를 선도하는 HORIBA의 대표적인 제품으로 10 나노미터와 5 밀리미터 사이의 매우 작은 입자 크기 측정이 가능하다. 또한, 내구성이 우수한 센서를 사용한 저농도 농도계 HF-960M을 선보였다. 이 농도계는 저동도의 불산, 염산, 암모니아를 정밀하게 측정하며 HF, HCI, NH3, 전도도, 온도의 5성분을 측정하며 각 농도의 상·하한 설정 외에도 여러 가지 출력 선택이 가능한 제품이다. 다양한 분야에서 건식 및 습식 측정이 가능하며 한 샘플에서 다음 샘플까지의 전체 처리 시간이 단 1분이라는 점이 특장점이다. 이 시간은 일반적인 측정 시간의 4분의 1에 불과해 빠른 테스트 결과값을 확인할 수 있다. 또한 한눈에 알아보기 쉬운 버튼 배치를 통해 사용자가 조작하기가 쉬우며 분석부와 순환계가 일체형으로 이루어져 있는 컴팩트한 장비로 측정 작업 시에 효율적이며 공간 절약에 효과적이다.

혼합 사출 시스템 액체 기화기 MV-2000 시리즈는 새로운 토네이도 흐름 방식을 사용하여 저온에서도 안정적인 증발을 구현하고 이전 제품에 비해 크게 개선되어 성능이 우수하다. 사용 지점 부근에서 직접 기화되어 빠른 속도로 제어하고, 버블링과 베이킹 방식을 지원함으로써 설치할 때 면적과 비용을 크게 절감할 수 있다. 또한 쉽게 열이 분해되는 액체 소스인 High-k와 같은 액체의 증발에도 적합한 시스템이다.

ADVANTECH에서는 다양한 산업용 태블릿 및 터치 패널 PC를 선보였다. 산업용 등급을 갖춘 PWS-472는 ARM Cortex-A53 쿼드 코어 프로세서와 안드로이드 5.1 OS를 지원하는 산업용 등급의 핸드헬드 터미널로 고휘도 HD LCD 스크린으로 최적의 가시성을 제공하며 정전식 멀티 터치 타입으로 편리한 조작을 할 수 있어 사용자 편의성을 크게 높였다. 안드로이드 운영체제를 지원함으로써 다양한 애플리케이션을 위한 개발 및 업데이트가 용이하며 사용자 친화적인 인터페이스를 제공한다. 전후면에 카메라가 내장되어 있어 다양한 종류의 실시간 수집을 지원한다. 이렇게 수집한 데이터를 Wi-Fi, GPS, 블루투스 등의 무선 통신 기술로 중앙 시스템에 전송 가능하며 작업 및 운영 효율을 대폭 향상시킨다. 따라서 제조, 물류, 창고 관리 등에 특히 용이하다. 태블릿 PC AIM-37 도 산업용 등급을 갖췄으며, 최대 12000시간의 수명을 보장하며 동시에 두께가 1.7mm로 슬림한 디자인과 가벼운 무게를 자랑한다. IP54 등급으로 전면 패널은 물과 먼지로부터 기기를 보호하며, 특히 UART/포고 핀 커넥터를 통해 다양한 액세서리와 여러 주변 장치와 통합되어 높은 확장성으로 생산 효율성을 크게 높이며, 사용자의 작업 효율을 증가시킨다.

(주)어코랩은 초음파 검사 장비 전문 벤처기업으로 세계 최고 수준의 초음파 C-스캔 시스템과 반도체 검사용 초음파 현미경 등 다양한 종류의 산업용 초음파 검사시스템을 개발, 제작하고 있는 업체이다. 국내 최초 자동화 초음파 탐상 장치 상용화에 성공한 기업으로, 중국, 미국, 캐나다 등에 시스템을 수출하고 있다. 전시회에서 선보인 초음파 탐상 장치 시스템은 직관적인 설계로 설계 검증이 가능해 재가공 비용을 70% 줄일 수 있다. 또한 설계 데이터 간의 정보 공유로 설계 프로세스를 단축시킬 수 있어 업무 효율성이 증대된다.

5년 연속 세미콘 코리아에 참가한 (주)메티스는 다수의 반도체 장비를 제조하는 기업으로 한층 발전된 CO-LINK 관련 제품을 비롯해 단자대 온도 측정기, 화재감지기 등의 제품을 선보였다. 그중에서 화재감지기 MT99DK13-FD01은 소형 사이즈의 분전반 및 산업생산 라인에 설치하여 화재 발생에 의한 연기를 감지하여 화재의 발생을 빠르게 탐지한다. 광전식의 연기 감지 방식으로 챔버 내의 암실에 연기 유입 시 암실 내 난반사를 수광부에서 감지하여 경보를 발하는 방식이며, 자체 내장 스피커로 화재 경보음이 울려 화재 발생 시 신속하게 대피할 수 있도록 알려준다. 110.5x89x31.8mm의 초소형 사이즈로, 소형 컨트롤 박스 같은 좁은 공간 내에서도 화재 감지가 용이하다는 장점이 있다.

CC-LINK 라인업 제품군도 볼 수 있었는데 CC-LINK 통신 기반의 PLC 제품의 CC-LINK REMOTE I/O는 하나의 제품으로 입출력 및 아날로그 출력이 가능하며 고속 필드 네트워크의 하나로, 제어와 정보를 동시에 취급하며 최대 10Mbps의 고속 응답성 및 안정된 입출력 응답을 실현하는 것이 특징이다. 특히 원거리 디바이스에 사용하기에 적합하다. 하나의 제품에 기능 통합이 되어있기 때문에 사용자는 공간 확보, 배선 작업에 더욱 용이하다. 별도의 장비 없이도 LCD를 통해서 Remote IO 상태 확인이 가능하다는 점도 편리하다. 무선 단말기를 통해서 모니터링 및 간단한 제어가 가능하며 스마트폰 애플리케이션과도 연동이 되어 실시간으로 확인할 수 있다.

많은 관람객들로 붐볐던 KEYENCE 부스의 원샷 3D 형상 측정기 VR-3000은 누구나 빠르게 측정이 가능한 측정기이다. 기존의 형상 측정기에서는 샘플 설치나 스테이지 조정 등 측정에 많은 시간이 걸렸지만, VR-3000 시리즈는 샘플을 스테이지에 올려놓고 측정 버튼을 클릭만 하면 4초 만에 측정이 완료된다. 실제로 측정하는 모습을 보았는데 한 번의 측정만으로도 매우 빠르게 측정이 되었다. 한 번의 측정으로 면 전체의 3D 정보를 취득하고 가장 높은 부분과 가장 낮은 부분 등의 전체의 형상을 파악할 수 있다. 따라서 측정 포인트가 불분명하여 재측정 하는 일은 거의 없다. 또한 다양한 해석 기능이 탑재되어 있는데 면으로 취득한 데이터를 이용해 원하는 포인트에 대해 12가지 항목의 측정을 자유자재로 실시할 수 있다. 원 숏으로 얻은 78만 점의 데이터를 사용해 면과 면의 단차를 측정 가능하며 면 내의 데이터를 사용하여 평면도의 측정도 가능하다. 선과 면의 측정도 가능한데, Ra나 Rz 등의 대표적인 파라미터를 측정할 수 있으며 원하는 포인트의 측정은 물론이고 원주를 따라 스캐닝 하는 등의 접촉식으로 어려운 측정도 가능해 사용자는 더욱 안정된 측정 결과값을 얻을 수 있다.

한국야스카와전기(주)는 부스에서 새로운 제품과 기술을 다양하게 선보여 참관객들로 가득차 있었다. 한국야스카와전기의 SR Vision은 기존 머신 비전 기술로 검사가 어려웠던 분야의 문제를 해결해주는 딥러닝 기반의 제품 외관 검사 솔루션으로 서울대 출신의 연구진에 의해 개발되었다. 최신 기계 학습 알고리즘과 다차원 분석 기법 등이 내재되어 있어 뛰어난 성능을 보인다. 이 시스템은 딥러닝 기법을 이용해 등록만 시켜주면 양품의 학습을 통해 불량을 찾아낼 수 있다. 야스카와가 추구하는 토탈 솔루션을 추구하는 제품으로 인버터와 PLC, 컨버터, 로봇까지 모두 야스카와 자체 제품으로 구성되어 있는 것이 특징이다. 비전 카메라를 이용해 이미지를 취득한 후, 사용자가 정의한 기준에 맞춰 이미지를 라벨링 할 수 있다. 또한 딥러닝 모델을 생성한 후, 수집된 데이터를 바탕으로 모델을 학습시킬 수 있으며 테스트할 수 있는 편리한 툴을 제공한다. 학습이 끝나면 학습된 모델을 실제 라인에 적용하는 등 절차가 간단하다. 전문적인 지식이 없이 단순하게 딥러닝 패키지를 사용할 경우에 산업현장의 검사 요구 사항을 만족시킬 수 없다는 단점이 있다. 일반적인 딥러닝 패키지는 과도한 양의 라벨링 데이터가 필요하고 불필요하게 커서 속도와 정확성 측면에서 산업현장의 요구사항을 충족시키지 못한다는 단점이 있는데, 이 제품은 적응형 전이 학습 및 네트워크 압축 기술로 이를 극복하였다. 또한 새로운 이미지 처리 및 generative adversarial network(GAN) 기술을 통해 인위적 학습 데이터를 생성하고 제한된 데이터만을 사용해 성공적인 네트워크 학습이 가능하다. 멀티 GPU computing 기술과 batch 최적화를 통해 이미지 처리 속도를 극대화시켜 이미지 한 장을 검사하는데 평균 15분에서 20분이 소요된다.

Renishaw는 영국 소재 기업으로 산업용 정밀 계측 및 공정 제어 제품을 지속적으로 개발하는 기업이다. Renishaw 사의 계측 제품은 제조업체가 생산력을 극대화하고 부품 생산 및 검사 시간을 대폭 단축하고, 기계의 안정적인 작동을 유지할 수 있도록 지원한다. 전시회에서 선보였던 Equator 측정 시스템은 반복 정도가 뛰어나고 열적 민감도가 없는 다기능의 재프로그래밍 가능 측정을 작업 현장에서 수행이 가능해, 공정 제어 효율이 개선된다. 이 시스템을 이용하면 불량률이 크게 감소하고, 비교적 저비용으로 간편하게 자동화를 할 수 있어 이러한 장점 덕분에 전세계 수백 곳의 제조업체들이 사용하고 있다.

가스센서 연구개발, 제조, 판매, 휴대 및 설치형 가스검지기 전문으로 알려진 신코스모스전기(주)는 16년도에 한국 법인 설립을 하였으며 국내 시장에서 요구하는 가격 경쟁력에 초점을 맞추고 있는 기업이다. 가스검지기 전문답게, 여러 가지 종류의 제품군을 선보였는데 그중에 개인용 VOC 노출 모니터인 XV-389는 톨루엔을 비롯한 17 종류의 화학물질에 모두 대응이 가능해 화학물질 중에서 대상물질의 선택이 가능하다. 선택한 물질의 공기 중 농도가 경보레벨(TWA,STEL)D에 도달하면 부저와 램프가 울려 사용자가 쉽게 알 수 있다. 또한 초소형 설계로 산업 현장의 작업에 방해가 되지 않으며 비용을 크게 절감할 수 있다는 장점이 있다. 또한 화학물질의 공기 중에 농도의 순간 값, 평균값, TWA 값, STEL 값을 실시간으로 확인이 가능하며 NFC 내장으로 보다 간편하게 데이터를 전송하고 수집이 가능하다.

이번 전시회는 역대 최대 규모로 개최되었으며 주로 최신 반도체 제조 기술과 공장 자동화 기술을 선보이는데 집중한 느낌이 들었다. 4만 명 이상의 많은 반도체 엔지니어와 업계 관계자들이 모여 현장에서 업계 관련 미팅을 진행하고, 소통을 하는 등 활기찬 모습이었다. 모든 부스를 돌아보려면, 하루 종일 관람해도 시간이 모자를 것 같다는 생각이 들 정도였다. 세미콘 코리아 2019는 전시회 외에도 다양한 프로그램을 준비했는데, 글로벌 반도체 산업을 이끄는 반도체 리더와 임원들을 위한 VIP 행사를 부대행사로 개최하였고, 인공지능과 스마트 매뉴팩처링(SMART Manufacturing)를 주제로 한 반도체 최신 이슈부터 업계 동향까지 살펴볼 수 있는 반도체 세미나도 진행이 되었다. 반도체 세미나에서는 전 세계 120여 명의 반도체 산업 전문가들의 발표가 진행되었으며, 반도체 산업의 변화에 적극적으로 대응할 수 있는 기술 발표를 하고, IBM, Amazon 등의 주요 업체는 인공지능 비즈니스 모델과 관련 기술이 향후 비즈니스에 미칠 영향에 대해 다루었다. 특히 이번에는 대학생 기자단 1기를 모집하기도 해 기자단의 활동이 활발하였으며, 또한 반도체의 미래를 이끌어나갈 전문 인력 양성을 위한 반도체 공정 기초 교육, 멘토링 세미나 등을 진행해 반도체 업계의 전문가를 직접 만나보고 산업의 유익한 정보를 얻을 수 있는 기회가 제공된 점이 돋보였다. 인공지능, 자율주행의 발달로 올해 반도체 분야는 꾸준히 성장세를 기록할 것으로 전망이 되고 있는만큼, 내년에도 볼거리도 더욱 많아질 것으로 기대되며 이번 관람기를 마친다.